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测量电子元件镀层如何选择合适的XRF配置

更新时间:2023-10-24      点击次数:235

  XRF分析仪有多种配置可供选择:探测器类型、光学系统类型、自动化配置,甚至是台式或手持式分析仪。那么需要测量电子元件镀层,选择哪种XRF配置?

  首先,从外形来说,目前市面上有手持式和台式的XRF分析仪。手持式和台式分析仪均可在几乎所有类型的基材上测量0.001-50μm(0.05-2000 微英寸)的金属镀层厚度。

  关于选择手持式还是台式,取决了电子元件的尺寸大小。如果尺寸较大,有相对大的镀层面积,那么建议选择手持式分析仪;而如果电子元件非常小,需要通过显微镜和照相机装置定位,并使用精密载物台和专用光学器件,来确保准确地分析正确的特定测点,那么建议选择台式分析仪。

手持式光谱分析仪1.png

  其次是光圈类型,选择准直器还是毛细管光学机构?

  选择光圈类型,取决于光斑大小,对于小于50m的零件,建议选择毛细管光学机构,若大于此尺寸,准直器配置可能会更合适。

  然后是探测器类型,选择比例计数器还是硅漂移探测器?

  比例计数器由惰性气体封装于金属圆柱体中构成,当惰性气体受到X射线轰击时会发生电离。它们对像锡或银这样的高能量元素有很好的灵敏度,对于元素较少的简单分析非常有效。

手持式光谱分析仪2.png

  SDD是半导体器件,当受到X射线轰击时会产生特定数量的电荷。当您对样品中的几种元素感兴趣时,或者在检测低能量元素,如磷时,它们能提供更好的分辨率。

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